近年來隨著航空、航天等各種工程技術(shù)的發(fā)展,越來越多的場合需要取得準(zhǔn)確地動態(tài)數(shù)據(jù),其中振動、沖擊、壓力、聲強(qiáng)等參數(shù)的測量占有重要的地位。各種傳感器、信號適調(diào)儀、分析、記錄、處理儀器就是為了滿足這種要求而發(fā)展起來的,其中傳感器是獲得準(zhǔn)確、真實(shí)數(shù)據(jù)的一關(guān);將所需測量的物理量轉(zhuǎn)換為便于測量的物理量是使用傳感器的目的。
在傳感技術(shù)的發(fā)展過程中,敏感元件的制作技術(shù)起著決定的作用,正是由于各種鐵電材料的研制成功,高質(zhì)量硅應(yīng)變敏感元件、電容敏感元件的研制成功,硅片微細(xì)加工技術(shù)的成功,才使得有可能制成各種質(zhì)量高的新型壓力傳感器。
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